반도체 공정에서 가스를 취급하는 벌크시스템의 안전에 관한 기술지침 1. 목적 이 지침은 독성, 질식성 및 인화성 가스를 취급하는 벌크시스템의 안전성 확보 및 효율적 운영을 위하여 가스 누출이 발생할 때 즉시 감지함으로써 초기 대응시간 단축과 2차적인 피해 확대를 방지하기 위해 벌크시스템의 안전에 필요한 사항을 제시하는데 그 목적이 있다. 2.
적용범위 이 지침은 독성, 질식성 및 인화성 가스 벌크시스템을 사용하는 모든 경우에 적용 한다. 3. 정의 (1) 이 지침에서 사용되는 용어의 정의는 다음과 같다 (가) “벌크시스템(Bulk system)”이라 함은 사업장에서 사용하거나 취급하는 급성독 성물질 및 인화성 가스를 대용량으로 저장․사용하기 위하여 튜브트레일러 (Tube trailers), 탱크트레일러(Tank trailers), 저장탱크(Storage tank) 및 여러 개의 실린더를 저장하는 시스템을 말한다.
(나) “튜브트레일러(Tube trailers)”라 함은 고압가스를 저...
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