머리카락 1000분의 1 기공사이즈 "2023년 50나노급 필터 개발 주력" 시노펙스가 오는 7일까지 코엑스에서 개최되는 스마트비즈엑스포에서 100나노급 UPE 필터 제품을 공개한다. 시노펙스 [프라임경제] 시노펙스(025320)가 그동안 전량 수입에 의존하던 100나노급 UPE 필터 국산화에 성공, 최초로 제품을 공개한다.
시노펙스는 오는 7일까지 코엑스에서 개최되는 스마트비즈엑스포에서 100나노급 UPE 필터 제품을 공개한다고 4일 밝혔다. 스마트비즈엑스포는 삼성전자(005390)가 중소기업을 후원하는 차원에서 중소벤처기업부, 중소기업중앙회와 함께 진행하는 행사로, 약 100여 업체가 후원을 받아서 제품 전시 및 판매 상담 등이 진행된다.
시노펙스가 이번에 개발한 UPE필터는 반도체 생산의 핵심공정인 PR(포토레지스트) 공정에 사용되는 제품으로, PR케미컬의 불순물을 걸러주는 역할을 하는 필터다. 시노펙스 관계자는 "반도체 제조공정 특성상 미세한 파티클 관리가 제품의 수율을 좌...
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