전자산업에서의 특수가스 취급안전 기술지침 1. 목적 본 기술지침은 반도체 제조 등 전자산업 등에서 특수가스를 사용, 취급함에 있어 발생할 수 있는 화재 및 폭발의 위험성을 파악하고 이를 방지하기 위하여 적절한 안전대책을 수립하는데 활용할 수 있는 기술지침을 제시함을 목적으로 한다. 2.
적용범위 본 기술지침은 실란(Silane), 포스핀(Phosphine), 아신(Arsine) 등의 특수가스를 사용하거나 취급하는 반도체 제조 등의 전자산업현장과 실험실 등에 적용된다. 다만, 이들 가스를 대량 제조, 포장 및 운반하는 등의 사업장은 제외한다. 3.
용어의 정의 (1) 이 기술지침에서 사용되는 용어의 뜻은 다음과 같다. (가) “가스 실린더(Gas cylinder)”란 가스를 충전하기 위한 것으로서 이동할 수 있는 용기와 부속품을 말한다.
(나) “가스공급지점(Gas supply point)”이란 가스 실린더와 연결되어 밸브 등의 부속 품이 장착된 지점을 말한다. (다) “특수가스(Sp...
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