클린룸의 안전관리에 관한 기술지침 1. 목적 이 지침은 클린룸 또는 클린지역으로 정의되는 시설에서 화재와 폭발로부터 인명과 재산의 손실을 막고, 관련된 위험으로부터 클린룸을 포함하는 시설을 보호하기 위한 적절한 안전조치 등에 필요한 사항을 제시하는데 그 목적이 있다. 2.
적용범위 이 지침은 클린룸 또는 클린지역을 포함하는 모든 시설에 적용한다. 3. 용어의 정의 (1) 이 지침에서 사용되는 용어의 정의는 다음과 같다.
(가) “액세스후로아시스템 (Access floor system)”이라 함은 기계, 전기통신, 또는 유사 설비의 설치를 위하여 바닥 하부공간을 제공하거나 급기 또는 배기 공간으로 사 용하기 위해 받침대 위에 설치된 패널의 조립을 말한다. (나) “클린룸 (Cleanroom)”이라 함은 공기 중 입자의 농도가 특정한계 내에서 제어되 는 실을 말한다.
(다) “클린지역 (Clean zone)”이라 함은 공기 중 입자의 농도가 특정한계 내에서 제어 되는 공간을 말한다.
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