주영창 과기혁신본부장, 나노종합기술원에서 반도체 공공팹 인프라 운용 방향 논의 2024.02.06 과학기술정보통신부 과학기술정보통신부 (장관 이종호, 이하 ‘과기정통부’) 주영창 과학기술혁신본부장은 2월 6일(화), 대전 나노종합기술원을 방문하여 주요 반도체 첨단 패키징 시설·장비*를 둘러보고 현황을 파악함과 동시에 향후 효과적인 운용을 위한 방안에 대해 현장 제언을 청취하는 시간을 가졌다. * 클린룸 및 ArF Immersion Scanner 등 200mm/300mm 테스트베드 장비 등 주요 연구 장비 (ArF Immersion Scanner : 불화아르곤 액침 축소투영시스템 (20~40nm급 패턴 형성용 노광장비) 이번 현장 방문은 지난 1월 11일(목) 진행된 ‘반도체 첨단패키징 전문가 간담회’의 후속 행보로, 지난 간담회에서는 “설계 효율화나 소자 미세화 등 전공정의 기술 진보가 한계에 다다른 현 상황을 고려할 때 향후 글로벌 반도체 시장의 게임체인저는 첨단패키징 기술이 될 ...
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