저장캐비닛의 가스 실린더 보관에 관한 기술지침 1. 목 적 이 지침은 반도체 관련 기술연구를 수행하거나 작업에 사용되는 저장캐비닛에 가스를 함께 보관하거나 분리해서 두는 가스 실린더의 보관에 필요한 사항을 제 시하는 데 그 목적이 있다. 2.
적용범위 이 지침은 기체 또는 액체 화학물질이 들어있는 내용적이 1,000 L까지의 모든 형태의 실린더에 적용된다. 또한, 독성물질이나 인화성물질을 취급하는 반도체 공 정 등에서 실린더 가스를 사용하거나, 나누어 주는데 적용되며, 실린더에서 공급 되는 퍼지가스에도 적용된다.
다만, 일종의 공정장비에 통합되어 있는 화학실린더 와 용접과 같은 부수적인 목적을 위한 제조시설에 사용되는 화학물질에 대해서는 적용하지 않는다. 3. 용어의 정의 (1) 이 지침에서 시용되는 용어의 정의는 다음과 같다.
(가) “부식성물질 (Corrosive materials)"이라 함은 접촉부위에 화학작용에 의해 살아있는 조직을 파과하거나 되돌릴 수 없는 변형을 일으키는 ...
원문링크 : KOSHA GUIDE-공정안전지침-저장캐비닛의 가스 실린더 보관에 관한 기술지침
