2023년 10월 과학기술인상 수상자 선정 2023.10.04 과학기술정보통신부 과학기술정보통신부(장관 이종호, 이하 ‘과기정통부’)와 한국연구재단(이사장 이광복, 이하 ‘연구재단’)은 이달의 과학기술인상 10월 수상자로 KAIST 전기및전자공학부 신영수 교수를 선정했다고 밝혔다. ‘이달의 과학기술인상’은 우수한 연구개발 성과로 과학기술 발전에 공헌한 연구개발자를 매월 1명씩 선정하여 과기정통부 장관상과 상금 1천만 원을 수여하는 상이다.
과기정통부와 연구재단은 신영수 교수가 기계학습(machine learning)을 적용해 기존보다 10배 이상 빠르고 해상도가 높은 반도체 리소그래피 최적화 기술을 개발한 공로를 높게 평가했다고 밝혔다. 반도체 포토리소그래피(Photolithography)는 패턴이 새겨진 마스크에 빛을 비추어 웨이퍼 상에 소자를 형성해가는 과정으로 반도체 수율을 결정하는 가장 중요한 공정이다.
웨이퍼에 다각형을 만들기 위해서는 마스크에 그보다 훨씬 복잡한 패턴을 그...
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